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高端创新精益制造

最小移动:优于5um; 闭环控制; 反馈分辨率:100nm;

四轴扫描样品台广泛应用于激光外形轮廓扫描，光内部结构扫描，系统中的样品精密定位等。 ●特点:体积小巧，超高精度，结构合理

最小移动:优于5um; 闭环控制; 反馈分辨率:100nm;

适合各种功率的X光扫描内部成像系统,也可以用于其他光学扫描系统。适用于高精度旋转扫描，高精度检测,精细内部结构重构,外部轮廓扫描等场合。

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